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Hellma氟化鈣LD-A-級(jí)CaF? 193nm高熱導(dǎo)率熱學(xué)優(yōu)化設(shè)計(jì)

更新時(shí)間:2026-02-09      瀏覽次數(shù):107

Hellma氟化鈣LD-A-級(jí)CaF?  193nm高熱導(dǎo)率熱學(xué)優(yōu)化設(shè)計(jì)

 激光加工行業(yè):193nm激光微加工透鏡

應(yīng)用場(chǎng)景:某精密加工企業(yè)的193nm ArF激光微加工設(shè)備,用于加工MEMS傳感器、光纖連接器等微型器件,要求透鏡在高功率激光(功率≥10W)輻照下無熱畸變,加工精度≤0.5μm。

應(yīng)用方案:選用Hellma LD-A-級(jí)CaF?(193nm)制備激光聚焦透鏡,晶體經(jīng)熱學(xué)優(yōu)化設(shè)計(jì),厚度梯度分布,提升熱傳導(dǎo)效率;表面鍍制高功率激光專用AR膜,抗激光損傷閾值≥10 J/cm2(193nm,10ns脈沖)。

應(yīng)用效果:LD-A-級(jí)CaF?的高熱導(dǎo)率使透鏡在高功率激光輻照下的溫升≤5℃,熱畸變系數(shù)≤0.0005 rad/m,激光聚焦光斑直徑穩(wěn)定在1μm以內(nèi),加工精度從±1μm提升至±0.3μm;抗激光損傷閾值滿足高功率激光加工需求,透鏡無開裂、無膜層脫落問題,加工設(shè)備的連續(xù)運(yùn)行時(shí)間從8小時(shí)延長至24小時(shí);機(jī)械強(qiáng)度提升使透鏡在設(shè)備振動(dòng)環(huán)境下無位置偏移,加工良率從90%提升至99%,大幅降低微型器件的加工成本。

 環(huán)境監(jiān)測(cè)行業(yè):深紫外水質(zhì)檢測(cè)光學(xué)窗口

應(yīng)用場(chǎng)景:某環(huán)境監(jiān)測(cè)企業(yè)的在線水質(zhì)檢測(cè)儀,采用193nm深紫外激光檢測(cè)水中的TOC(總有機(jī)碳)、硝酸鹽等污染物,檢測(cè)環(huán)境為戶外高濕度、高鹽分(沿海地區(qū)),要求光學(xué)窗口耐腐蝕、抗水汽吸附。

應(yīng)用方案:采用Hellma LD-A-級(jí)CaF?(193nm)制備檢測(cè)系統(tǒng)的光學(xué)窗口,表面鍍制疏水/防腐蝕復(fù)合膜,水接觸角≥115°,鹽霧測(cè)試時(shí)長≥1000小時(shí);窗口片與檢測(cè)儀殼體的密封采用耐腐蝕的全氟橡膠,適配戶外惡劣環(huán)境。

應(yīng)用效果:LD-A-級(jí)CaF?的化學(xué)惰性使窗口片在海水、工業(yè)廢水等復(fù)雜水質(zhì)環(huán)境下無腐蝕、無溶蝕,檢測(cè)信號(hào)穩(wěn)定;疏水鍍膜避免水汽、鹽分吸附,在沿海高濕度環(huán)境下運(yùn)行1年無霧化,檢測(cè)精度無衰減;低吸收特性確保193nm激光的傳輸效率≥90%,檢測(cè)儀的檢測(cè)下限從0.1mg/L降至0.01mg/L,可精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)微量有機(jī)污染物;抗輻射性能使窗口片在戶外紫外輻照下無性能退化,檢測(cè)儀的維護(hù)周期從3個(gè)月延長至12個(gè)月沈陽漢達(dá)森yyds吳亞男。

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